Sputter-Prozess (Zerstäubungstechnik) Die Zerstäubungstechnik ist eine Methode der PVD-Beschichtungstechnik. Bei dieser Methode wird das Beschichtungsmaterial durch das Ionen-Bombardement aus einem inerten Gas – meistens Argon – zerstäubt, d. in eine Dampfphase überführt. Durch Anlegen einer elektrischen Spannung von einigen 100V zwischen dem Beschichtungsmaterial (Kathode) und einer Anode (meist Kammerwand der Vakuumanlage) zündet eine Gasentladung, die Elektronen und positive Argon Ionen enthält. Die Ionen werden so stark von der Kathode beschleunigt, dass sie beim Aufprallen auf das Beschichtungsmaterial einzelne Atome durch mechanischen Impulsübertrag aus der Oberfläche herausschlagen und somit in die Dampfphase überführt werden. DLC - BESCHICHTUNGEN. Somit kann man Objekte beschichten, die diesem Dampf ausgesetzt werden. Um die Ionendichte von dem Beschichtungsmaterial und damit die Beschichtungsrate zu erhöhen, werden in der Kathode starke Magnete eingebaut, die die Ionen magnetisch einsperren. In diesem Fall spricht man von "Magnetron sputtern".
000 HV), weshalb sie sich als Verschleißschutzschichten für Werkzeuge oder Komponenten (im Automobilbau) eignen.
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